HPR-30 Series

Σειρά HPR-30

Συστήματα ανάλυσης υπολειμματικών αερίων για ανάλυση διεργασιών υπό κενό

Η σειρά HPR-30 είναι συστήματα ανάλυσης υπολειμματικών αερίων που έχουν διαμορφωθεί για ανάλυση αερίων και ατμών σε διεργασίες κενού και για διαγνωστικά κενού με δυνατότητα δειγματοληψίας από το υψηλό κενό έως την ατμοσφαιρική πίεση. Τα συστήματα είναι πλήρως διαμορφώσιμα για μεμονωμένες εφαρμογές διεργασίας όπως CVD, ALD, χάραξη πλάσματος, MOCVD, καθαρότητα αερίου διεργασίας και παρακολούθηση ρύπων κατά τη διαδικασία.

🛑 Επισκόπηση

Τα συστήματα της σειράς HPR-30 έχουν σχεδιαστεί για γρήγορη απόκριση ανάλυση υψηλής ευαισθησίας ειδών αερίων και ατμών σε διεργασίες κενού. Οι εφαρμογές περιλαμβάνουν ανίχνευση διαρροών, παρακολούθηση μόλυνσης, ανάλυση τάσεων διεργασίας και ανάλυση ειδών υψηλής μάζας και πρόδρομων ουσιών που χρησιμοποιούνται για παράδειγμα σε εφαρμογές ALD και MOCVD.

Οι διαμορφώσεις δειγματοληψίας προσφέρονται ως:

☑️ Το καρότσι HPR-30 με είσοδο δειγματοληψίας διπλής αγωγιμότητας διαθέτει ένα κλειστό άνοιγμα επανεισόδου για δειγματοληψία απευθείας εντός της περιοχής διεργασίας, παρέχοντας μέγιστη ακεραιότητα δεδομένων και γρήγορη επιβεβαίωση της κατάστασης της διαδικασίας.

☑️ Καρότσι πολλαπλών εισαγωγών HPR-30 με πολλαπλές εύκαμπτες εισόδους, μήκους 1 m και πολλαπλή σύνδεση τριών βαλβίδων με αυτοματοποιημένη μεταγωγή για ανάλυση σε ένα ευρύ φάσμα πίεσης διεργασίας.

☑️ HPR-30 SGL με μία μόνο θερμαινόμενη γραμμή δειγματοληψίας για εφαρμογές όπου υπάρχει περιορισμένος χώρος εργαλείων για σύνδεση δειγματοληψίας και όπου η απαίτηση για ανάλυση λιγότερο πτητικών προϊόντων αντίδρασης απαιτεί ένα πλήρως θερμαινόμενο διάλυμα εισόδου. Ως επιλογή συστήματος προσφέρεται η απόκτηση δεδομένων με ανάλυση χρόνου, κατάλληλη για την παρακολούθηση της διαδικασίας παλμικής εναπόθεσης.

Οι επιλογές περιλαμβάνουν το καινοτόμο τετραπολικό σύστημα τριπλού φίλτρου της σειράς Hiden 3F που παρέχει βελτιωμένη ευαισθησία αφθονίας, επίπεδα ανίχνευσης μέρους ανά δισεκατομμύριο (ppb) και υψηλή αντοχή στη μόλυνση, ιδιαίτερα κατάλληλο για την ανάλυση επιθετικών αερίων σε εφαρμογές CVD και RIE.

🛑 Χαρακτηριστικά

☑️ Ευέλικτα διαμορφώσιμα συστήματα δειγματοληψίας διεργασιών κενού

☑️ Επιλογές εμβέλειας μάζας 200, 300, 500 ή 1000 amu

☑️ Ανίχνευση διαρροών

☑️ Ανάλυση τάσεων διαδικασίας

☑️ Παρακολούθηση μόλυνσης

🛑 Εφαρμογές

☑️ Χαρακτηρισμός πλάσματος

☑️ Ξήρανση με κατάψυξη

☑️ CVD / MOCVD / ALD

☑️ Επεξεργασία υπό κενό

☑️ Ανάλυση υπολειμματικών αερίων