ESPion

ESPion

Ένας προηγμένος ανιχνευτής Langmuir για διαγνωστικά πλάσματος

Η τακτική παρακολούθηση του χαρακτηριστικού πλάσματος I-V από τον ανιχνευτή Hiden ESPion παρέχει άμεσες πληροφορίες σχετικά με τη σταθερότητα και την αναπαραγωγιμότητα του πλάσματος. Η αυτόματη παρέκταση σε πραγματικό χρόνο των παραμέτρων του πλάσματος παρέχει λεπτομερείς πληροφορίες για τις ιδιότητες του πλάσματος για χρήση στον χαρακτηρισμό και την παρακολούθηση της ομοιομορφίας.

🛑 Επισκόπηση

Το σύστημα ESPion χρησιμοποιεί Orbital Motion Limited (OML) και Allen Boyd Reynolds (ABR) ως τυπικά μοντέλα ανάλυσης πλάσματος.

Το αυτόματο Z-drive Hiden παρέχει χωρικές μετρήσεις σε όλο τον όγκο του πλάσματος. Οι τυπικές επιλογές μετάφρασης Z-drive είναι: 300, 600 και 900 mm.

🛑 Χαρακτηριστικά

☑️ Ρυθμός απόκτησης 15 σαρώσεων ανά δευτερόλεπτο με διασύνδεση D-O-E για αναλύσεις αυτόματες, ημι ή χειροκίνητες

☑️ Hiden πρωτοπόροι στην παθητική αντιστάθμιση RF

☑️ Το ESPion έχει την υψηλότερη εμπέδηση αποκλεισμού από οποιαδήποτε μονάδα που διατίθεται στο εμπόριο

☑️ 4,25MOhm στα 13,56 MHz βλ. 100 kOhm

☑️ Αλυσίδα πολλαπλών επαγωγών με ψύξη αερίου για λειτουργία πλάσματος υψηλής θερμοκρασίας

☑️ Η αλυσίδα πολλαπλών επαγωγών με ψύξη αερίου μπορεί να αντικατασταθεί από το χρήστη για συντονισμό σε άλλες συχνότητες

☑️ Ο ανιχνευτής αναφοράς αντισταθμίζει τα εφέ χαμηλής συχνότητας π.χ. μετατόπιση του δυναμικού πλάσματος (π.χ. ανοδιωμένα τοιχώματα θαλάμου) ή θόρυβος (π.χ. τροφοδοτικό)

☑️ ESPion τις ταχύτερα παλμικές προδιαγραφές πλάσματος από οποιονδήποτε εμπορικό ανιχνευτή

☑️ Το ESPionSoft περιέχει όλα τα απαραίτητα κυκλώματα πύλης ως στάνταρ

☑️ Επιλογές αυτόματης γραμμικής μετάδοσης κίνησης 300, 600 ή 915 mm

☑️ Ενσωματωμένη βαλβίδα απομόνωσης, ανιχνευτές 90°, διαθέσιμες επιλογές συνδυασμένων γραμμικών – περιστροφικών ηλεκτροκινητήρων

☑️ Κύκλος αυτοκαθαρισμού για περιορισμό της μόλυνσης του άκρου του ανιχνευτή

☑️ Έλεγχος ESPionSoft μέσω RS232, RS485 ή Ethernet LAN

🛑 Εφαρμογές

☑️ Χαρακτηρισμός πλάσματος

☑️ Δυναμικό πλάσματος

☑️ Πλωτό δυναμικό

☑️ Θερμοκρασία ηλεκτρονίων

☑️ Πυκνότητα ιόντων

☑️ Κατανομή ενέργειας ηλεκτρονίων