EQP Series

Σειρά EQP

Συστήματα για την έρευνα πλάσματος

Τετραπολικά φασματόμετρα μάζας συνδυασμένης μάζας και ενέργειας υψηλής απόδοσης για τον χαρακτηρισμό πλάσματος.

Εύρος μάζας EQP-6 300 ή 510 amu με φασματόμετρο μάζας τετραπολικού τριπλού φίλτρου 6 mm για ένα ευρύ φάσμα ερευνητικών εφαρμογών πλάσματος.

EQP-9 Συστήματα τριπλού τετραπολικού φίλτρου 9 mm EQP-9, με την ευρύτερη διαθέσιμη γκάμα επιλογών μάζας. 50 έως 5000 επιλογές amu για μετρήσεις υψηλής σταθερότητας και ανάλυση συστάδων ιόντων.

Το EQP-20 διαθέτει τριπλό τετράπολο φίλτρου 20 mm Hiden με δυνατότητα εναλλαγής ζώνης I/ζώνης H για 20 amu με πλάτος κορυφής 0,003 amu και εύρος μάζας 200 amu με ανάλυση μονάδας μάζας για τον χαρακτηρισμό πλάσματος ισοτόπων υδρογόνου.

🛑 Επισκόπηση

Οι κρυφοί ανιχνευτές πλάσματος μετρούν ορισμένες από τις βασικές παραμέτρους του πλάσματος και παρέχουν λεπτομερείς πληροφορίες σχετικά με τη χημεία της αντίδρασης πλάσματος.

Η λεπτομερής κατανόηση της κινητικής αντίδρασης των ιόντων πλάσματος και των ουδέτερων ειδών παίζει βασικό ρόλο στην ανάπτυξη προηγμένων διαδικασιών επιφανειακής μηχανικής όπως το HIPIMS.

Η ενσωματωμένη πηγή ιόντων βομβαρδισμού ηλεκτρονίων παρέχει ανάλυση ουδέτερων και, με την προσθήκη του τρόπου σύνδεσης ηλεκτρονίων EAMS (φασματομετρία μάζας προσάρτησης ηλεκτρονίων), για διαχωρισμό και ταυτοποίηση ειδών ηλεκτραρνητικών ριζών.

Ένας αναλυτής ενέργειας πεδίου τομέων υψηλής μετάδοσης 45° για ανάλυση θετικής και αρνητικής ενέργειας ιόντων έως 1000 eV περιλαμβάνεται σε όλα τα όργανα της σειράς EQP.

Η σειρά EQP διατίθεται με ενσωματωμένη λήψη δεδομένων MCS – πολλαπλών καναλιών βαθμωτών δεδομένων με χρονική ανάλυση έως 50 νανοδευτερόλεπτα παρέχοντας γρήγορη απόκτηση δεδομένων σε εφαρμογές παλμικού πλάσματος.

🛑 Χαρακτηριστικά

☑️ Οπτικά εξαγωγής ιόντων ελεγχόμενη από λογισμικό για ελάχιστη διαταραχή πλάσματος

☑️ Αναλυτής ηλεκτροστατικού τομέα 45°, Ενέργεια σάρωσης σε προσαυξήσεις 0,05 eV/ 0,25 eV FWHM

☑️ Ελάχιστη διατάραξη διαδρομής πτήσης ιόντων & σταθερή μετάδοση ιόντων σε όλες τις ενέργειες

☑️ Διαφορικά αντλούμενο Τριπλό Τετράπολο φίλτρου, επιλογές εύρους μάζας έως 5000amu

☑️ Ανιχνευτής μέτρησης ιόντων παλμών υψηλής ευαισθησίας / σταθερότητας με δυναμικό εύρος 7 δεκαετιών

☑️ Συντονιζόμενος ενσωματωμένος ιονιστής για δυνατότητα εμφάνισης MS με δυνατότητα σύνδεσης ηλεκτρονίων

☑️ Μανόμετρο και κλειδαριές για προστασία από την υπερπίεση

☑️ Πύλη σήματος και δυνατότητα προγραμματιζόμενης πύλης σήματος για μελέτες χρονικής ανάλυσης σε παλμικό πλάσμα

☑️ 1000eV Option, Floating option έως 10keV, Faraday Cup για πλάσμα υψηλής πυκνότητας

☑️ Επιλογές θωράκισης Mu-Metal, Radio-metal, επιλογή λειτουργίας υψηλής πίεσης

☑️ Έλεγχος MASsoft μέσω RS232, RS485 ή Ethernet LAN

🛑Εφαρμογές

☑️ Ανάλυση ιόντων και ριζών

☑️ Μελέτες χάραξης/απόθεσης

☑️ Εμφύτευση ιόντων

☑️ Αφαίρεση με λέιζερ

☑️ Ανάλυση υπολειμματικών αερίων

☑️ Ανίχνευση διαρροών

☑️ Σύζευξη ηλεκτροδίων πλάσματος