Ανάλυση Υπολειμματικών Αερίων (Residual Gas Analysis)

Ανάλυση Υπολειμματικών Αερίων

☑️ Σειρά RGA

Συστήματα για την εξέταση εξαρτημάτων που υπάρχουν σε ένα δοχείο ή προέρχονται από μια διαδικασία. Μετρά τη συγκέντρωση αερίων και ατμών σε πραγματικό χρόνο.

☑️ HALO RGA

Αναλυτής υπολειπόμενου αερίου για ανάλυση δακτυλικών αποτυπωμάτων υπό κενό, ανίχνευση διαρροών και ανάλυση τάσεων.

☑️ Επιλογές πηγής ιόντων

Μια σειρά από πηγές ιόντων πρόσκρουσης ηλεκτρονίων που μπορούν να παρέχονται με οποιονδήποτε από τους αναλυτές υπολειμματικών αερίων μας. Διαμορφώνει αναλυτές υπολειμματικών αερίων για συγκεκριμένες εφαρμογές, για παράδειγμα ανάλυση μοριακής δέσμης.

☑️ HMT

Σύστημα RGA διπλής λειτουργίας για διάγνωση κενού και παρακολούθηση διεργασιών χωρίς διαφορική άντληση. Μετρά τα υπολειμματικά αέρια, μολύνει τη διαδικασία και παρέχει ανίχνευση διαρροών.

☑️ HAL 201 RC

Ένας αναλυτής υπολειπόμενων αερίων διαμορφωμένος για απαιτητικές εφαρμογές UHV. Μετρά τη συγκέντρωση αερίων και ατμών σε πραγματικό χρόνο.

☑️ HALO 201 MBE

Ένα σύστημα υπολειμματικών αερίων διαμορφωμένο για εφαρμογές επιταξίας μοριακής δέσμης. Μετρά τα υπολειμματικά αέρια και προβλέπει ανίχνευση μόλυνσης και διαρροής στα συστήματα MBE.

☑️ EPIC / EPIC 1000 Series

Ένα σύστημα ανάλυσης UHV ουδέτερων, ριζών και ιόντων. Μετρά τα ιόντα, τα ουδέτερα και τις μερικές πιέσεις σε UHV/XHV.

☑️ IDP / IDP 1000 Series

Ένα σύστημα ανάλυσης ιόντων, ουδέτερων και ριζών σε μελέτες εκρόφησης UHV. Μετρά ιόντα και ουδέτερα στην εκρόφηση που διεγείρεται από ηλεκτρόνια και φωτόνια.

☑️ 3F Series / 1000 Series RGA

Ένα σύστημα για επιστημονικές και διεργασιακές εφαρμογές υψηλής ακρίβειας. Μετρά τις μερικές πιέσεις των υπολειμματικών αερίων με εξαιρετικά υψηλή ανάλυση και επιλογές εκτεταμένου εύρους μάζας έως 1000 AMU.

☑️ XBS

Ένα σύστημα παρακολούθησης πολλαπλών πηγών σε εφαρμογές εναπόθεσης MBE. Για ανάλυση μοριακής δέσμης και έλεγχο ρυθμού εναπόθεσης.

☑️ 3F PIC

Οι τετράπολοι της σειράς PIC 3F της Hiden είναι αναλυτές τριπλού φίλτρου υψηλής ακρίβειας με ψηφιακούς ανιχνευτές για απόλυτη ευαισθησία και ανάλυση χρόνου σε εφαρμογές UHV TPD.

☑️ DLS-1

Ένα σύστημα για την έρευνα σύντηξης tokamak/torus. Μετρά τη συγκέντρωση της καθαρότητας του αερίου καυσίμου σύντηξης συμπεριλαμβανομένων των ισοτόπων υδρογόνου, του δευτέριου στο ήλιο για παράδειγμα.

☑️ DLS-10

Τετραπλό φασματόμετρο μάζας εξαιρετικά υψηλής ανάλυσης. Ειδικά σχεδιασμένο για την ανάλυση ισοτόπων υδρογόνου και ηλίου και ελαφρών αερίων.

☑️ DLS-20

Μοναδικό Τετραπλό Φασματόμετρο Μάζας με μεταγωγή διπλής ζώνης εξαιρετικά υψηλής ανάλυσης. Ειδικά σχεδιασμένο για την ανάλυση ισοτόπων υδρογόνου και ηλίου και ελαφρών αερίων.

☑️ HAL 101X