PSM

PSM

Ένας αναλυτής μάζας και ενέργειας για διαγνωστικά πλάσματος

Οι κρυφοί ανιχνευτές πλάσματος μετρούν ορισμένες από τις βασικές παραμέτρους του πλάσματος και παρέχουν λεπτομερείς πληροφορίες σχετικά με τη χημεία της αντίδρασης πλάσματος.

🛑 Επισκόπηση

Ένα ευρύ φάσμα βιομηχανικών διεργασιών χρησιμοποιεί ηλεκτρικό πλάσμα και νέες εφαρμογές αναπτύσσονται γρήγορα. Στη βιομηχανία μικροηλεκτρονικών, οι απαιτήσεις για υψηλότερες αποδόσεις και συρρίκνωση της γεωμετρίας των συσκευών σημαίνουν ότι η αναπαραγωγιμότητα και η κατανόηση της διαδικασίας είναι ζωτικής σημασίας.

Η λεπτομερής κατανόηση της κινητικής αντίδρασης των ιόντων πλάσματος και των ουδέτερων ειδών παίζει βασικό ρόλο στην ανάπτυξη προηγμένων διαδικασιών επιφανειακής μηχανικής όπως το HIPIMS.

🛑 Χαρακτηριστικά

☑️ Διαφορικά αντλούμενη πολλαπλή με φλάντζα στερέωσης στο θάλαμο επεξεργασίας

☑️ Τετράπολο τριπλού φίλτρου υψηλής ευαισθησίας / σταθερότητας, επιλογές εύρους μάζας έως 510amu

☑️ Ανιχνευτής μέτρησης ιόντων παλμών με δυναμικό εύρος 7 δεκαετιών

☑️ Επιλογή ανάλυσης ενέργειας με σάρωση πόλωσης πόλων 100eV

☑️ Οπτικά εξαγωγής/αποκλεισμού ιόντων με ρυθμιζόμενο ενσωματωμένο ιονιστή για δυνητικό MS εμφάνισης

☑️ Μανόμετρο και κλειδαριές για προστασία από την υπερπίεση

☑️ Πύλη σήματος και δυνατότητα προγραμματιζόμενης πύλης σήματος για μελέτες χρονικής ανάλυσης σε παλμικό πλάσμα

☑️ Ανάλυση ουδέτερων και ριζών ως στάνταρ, επιλογή +ve / -ve ανάλυσης ιόντων

☑️ Επιλογές θωράκισης Mu-Metal, Radio-metal, επιλογές λειτουργίας υψηλής πίεσης

☑️ Έλεγχος MASsoft μέσω RS232, RS485 ή Ethernet LAN

🛑 Εφαρμογές

☑️ Χάραξη αντιδραστικών ιόντων

☑️ Μελέτες εναπόθεσης πλάσματος

☑️ Εμφύτευση ιόντων

☑️ Αφαίρεση με λέιζερ

☑️ Ανάλυση υπολειμματικών αερίων

☑️ Ανίχνευση διαρροών