IMP-EPD

IMP-EPD

Ένα σύστημα για τον έλεγχο της χάραξης ιόντων και τη βέλτιστη ποιότητα διεργασίας

Το IMP-EPD είναι ένα διαφορικά αντλούμενο, ανθεκτικό φασματόμετρο μάζας δευτερογενούς ιόντος για την ανάλυση δευτερογενών ιόντων από τη διαδικασία χάραξης δέσμης ιόντων. Το σύστημα περιλαμβάνει ενσωματωμένο λογισμικό με ειδικούς αλγόριθμους διαδικασίας που έχουν αναπτυχθεί για τον βέλτιστο έλεγχο της διαδικασίας.

🛑 Επισκόπηση

Το IMP-EPD είναι ένα διαφορικά αντλούμενο, ανθεκτικό φασματόμετρο μάζας δευτερογενούς ιόντος για την ανάλυση δευτερογενών ιόντων από τη διαδικασία χάραξης δέσμης ιόντων. Το σύστημα περιλαμβάνει ενσωματωμένο λογισμικό με ειδικούς αλγόριθμους διαδικασίας που έχουν αναπτυχθεί για τον βέλτιστο έλεγχο της διαδικασίας.

Το σύστημα IMP-EPD είναι αποδεδειγμένη διαδικασία για την παραγωγή συσκευών λεπτής μεμβράνης υψηλών προδιαγραφών για εφαρμογές που περιλαμβάνουν μαγνητικά λεπτά φιλμ, υπεραγωγούς υψηλής θερμοκρασίας και ημιαγωγούς III-V.

🛑 Χαρακτηριστικά

☑️ Υψηλής ευαισθησίας SIMS / MS με ανιχνευτή μέτρησης ιόντων παλμών

☑️ Τετράπολο τριπλού φίλτρου, εύρος μάζας 300 amu είναι στάνταρ

☑️ Διαφορικά αντλούμενη πολλαπλή με φλάντζα στερέωσης στο θάλαμο διεργασίας

☑️ Οπτικά ιόντων με αναλυτή ενέργειας και ενσωματωμένο ιονιστή

☑️ Μανόμετρο και κλειδαριές για προστασία από την υπερπίεση

☑️ Σύστημα δεδομένων με ενσωμάτωση στο εργαλείο διεργασίας

☑️ Σταθερότητα (λιγότερο από ±0,5% διακύμανση ύψους για 24 ώρες)

☑️ Έλεγχος MASsoft μέσω RS232, RS485 ή Ethernet LAN

☑️ Προγραμματιζόμενο DDE, Παράλληλη ψηφιακή I/O, RS232 Scripting Communication

🛑 Εφαρμογές

☑️ Ανάλυση τελικού σημείου

☑️ Προσδιορισμός ακαθαρσίας στόχου

☑️ Ποιοτικός έλεγχος/SPC

☑️ Ανάλυση υπολειμματικών αερίων