EQS SIMS Analyser

EQS (Ηλεκτροστατικό Τετράπoλο)

Ένα σύστημα για την ανάλυση δευτερογενών θετικών και αρνητικών ιόντων από στερεά δείγματα

Η Hiden Analytical παρέχει λύσεις φασματομετρίας μάζας παγκόσμιας κλάσης και καινοτόμα εργαλεία για ανάλυση ιόντων, συμπεριλαμβανομένου του δοκιμασμένου και αξιόπιστου Hiden EQS. Αυτό το ηλεκτροστατικό τετραπολικό δευτερογενές φασματόμετρο μάζας ιόντων υψηλής μετάδοσης (SIMS) είναι ένα από τα πιο δημοφιλή μας συστήματα ανίχνευσης για ανάλυση επιφάνειας νανοκλίμακας λεπτής μεμβράνης ερευνητικής κλίμακας. Ο αναλυτής EQS SIMS είναι ένας ιδανικός πρόσθετος αναλυτής για συστήματα μικροσκοπίας XPS και εστιασμένης δέσμης ιόντων FIB.

🛑 Επισκόπηση

Το Hiden EQS είναι ένας μοναδικός ηλεκτροστατικός τετραπολικός ανιχνευτής SIMS, εξειδικευμένος για τη φασματική ανάλυση μάζας τόσο των θετικών (+ ve) όσο και των αρνητικών (-ve) δευτερογενών ιόντων από στερεά δείγματα. Με τον ενσωματωμένο αναλυτή ενέργειας ιόντων ηλεκτροστατικού τομέα 45°, το Hiden EQS μπορεί να αναλύει ταυτόχρονα την ενέργεια ιόντων με ανάλυση 0,2 ηλεκτρον βολτ (eV). Αυτό το καθιστά ένα από τα πιο ευέλικτα εργαλεία για αναλυτές ιόντων σε μια σειρά εφαρμογών φασματομετρίας μάζας, όπως:

☑️ Επέκταση του εύρους ευαισθησίας του XPS κατά περισσότερο από 1000

☑️ Δυναμικές και στατικές SIMS

☑️ Φασματομετρία μάζας εστιασμένης δέσμης ιόντων (FIB).

☑️ Δευτερεύουσα ουδέτερη φασματομετρία μάζας (SNMS)

☑️ Προφίλ βάθους Sputter

☑️ Ανάλυση διασκορπισμένων ιόντων και ουδέτερης μάζας/ενέργειας

Εργαλεία για ανάλυση ιόντων από την Hiden Analytical

Ένα δημοφιλές εξάρτημα με μπουλόνι για συστήματα μετά την αγορά, ιδανικό ως πρόσθετο για συστήματα XPS και συστήματα μικροσκοπίας FIB εστιασμένης δέσμης ιόντων, για παράδειγμα, το Hiden EQS προσφέρει υψηλή ευαισθησία και προαιρετική διαφορική άντληση για να ανταποκρίνεται στην απεικόνιση, το προφίλ βάθους και Απαιτήσεις φασμάτων μάζας των χρηστών σε μια σειρά εφαρμογών.

🛑 Χαρακτηριστικά

☑️ Ανιχνευτής μέτρησης ιόντων υψηλής ευαισθησίας με δυναμικό εύρος 7 δεκαετιών

☑️ Raster Control για βελτιωμένο προφίλ βάθους και απεικόνιση με ενσωματωμένη πύλη σήματος

☑️ Αναλυτής ηλεκτροστατικού τομέα 45 °, ενέργεια σάρωσης σε προσαυξήσεις 0,05 eV / 0,25 eV FWHM

☑️ Ελάχιστη διατάραξη διαδρομής πτήσης ιόντων & σταθερή μετάδοση ιόντων σε όλες τις ενέργειες

☑️ Τετράπολο Τριπλό φίλτρο, επιλογές μάζας έως 5000 amu

☑️ Μανόμετρο και κλειδαριές για προστασία από την υπερπίεση

☑️ Δυνατότητα διαφορικής αντλίας για χρήση σε περιβάλλοντα υψηλής πίεσης

☑️ Έλεγχος MASsoft μέσω RS232, RS485 ή Ethernet LAN

☑️ Εύκολη διασύνδεση με υπάρχοντα συστήματα

🛑 Εφαρμογές

☑️ Ανάλυση Επιφανειών

☑️ Μηχανική λεπτών φιλμ & επιφανειών

☑️ Κατάλυση