IG20

IG20

Πηγή ιόντων αργού ή οξυγόνου 5keV για εφαρμογές ανάλυσης επιφάνειας UHV

Το IG20 διαθέτει πηγή ιόντων αερίου πρόσκρουσης ηλεκτρονίων υψηλής φωτεινότητας, η οποία έχει σχεδιαστεί ειδικά για ικανότητα οξυγόνου, αλλά είναι επίσης κατάλληλη για χρήση με αδρανή και άλλα αέρια.

🛑 Επισκόπηση

Το IG20 έχει σχεδιαστεί ως κύρια δέσμη ιόντων για εφαρμογές SIMS, Auger και XPS για απεικόνιση και προφίλ βάθους, ωστόσο, η εσωτερική σάρωση ράστερ και το ευρύ φάσμα παραμέτρων λειτουργίας το καθιστούν κατάλληλο για πειράματα καθαρισμού δειγμάτων και επιφανειών. Τα διπλά νήματα με δυνατότητα μεταγωγής από τον χρήστη διασφαλίζουν τη συνεχή λειτουργία στην περίπτωση ενός φυσητού νήματος – το οποίο μπορεί να αντικατασταθεί όταν το βολεύει ο χρήστης.

🛑 Χαρακτηριστικά

☑️ Έντονη δέσμη ιόντων με μέγεθος κηλίδας 100 μm και ενέργειες από 0,5 – 5 keV

☑️ Υψηλή πυκνότητα ρεύματος, έως 4,5 mA/cm2

☑️ Πηγή ιόντων πρόσκρουσης ηλεκτρονίων με ικανότητα αργού και οξυγόνου

☑️ Οπτική διεύθυνσης για σκέδαση γραμμών και ράστερ δέσμης σε προφίλ βάθους

☑️ Μετατόπιση 3° στη στήλη πιστολιού ιόντων για βέλτιστη απόρριψη ουδέτερων

☑️ Εγκατάσταση τυφλής δέσμης για γρήγορη εναλλαγή δέσμης σε εφαρμογές ράστερ

☑️ Διαφορική άντληση πηγής για μειωμένο φορτίο αερίου θαλάμου

☑️ Εύκολα αντικαταστάσιμο συγκρότημα διπλού νήματος

🛑 Εφαρμογές

☑️ Επιφανειακή ανάλυση

☑️ Μηχανική λεπτών φιλμ & επιφανειών

☑️ Επιφανειακή επιστήμη

☑️ Νανοτεχνολογία

☑️ Φασματοσκοπία ηλεκτρονίων τρυπάνι

☑️ Διασκορπισμός δέσμης ιόντων