FIB-SIMS

FIB-SIMS για Ανάλυση Υλικών Νανο-Κλίμακας

Προσθέστε τη δυνατότητα SIMS υψηλής απόδοσης στο υπάρχον σύστημα FIB σας

Η Hiden Analytical προσφέρει υψηλής απόδοσης φασματομετρία μάζας δευτερογενούς ιόντος (SIMS) για υπάρχοντα συστήματα εστιασμένης δέσμης ιόντων (FIB), παρέχοντας εξαιρετική εξειδίκευση στην επιφάνεια και ένα φυσικά υψηλό δυναμικό εύρος για προηγμένη ανάλυση υλικών νανοκλίμακας. Τα συστήματά μας FIB-SIMS είναι έτοιμα να βελτιώσουν τις λειτουργίες σας, από εργασίες ρουτίνας ανίχνευσης έως πολύπλοκη προετοιμασία δειγμάτων.

🛑 Επισκόπηση

Η ανάλυση υλικών νανοκλίμακας αναφέρεται σε έναν αυξανόμενο τομέα οργάνων που επικεντρώνονται στην ανίχνευση ιχνοστοιχείων και εξαιρετικά ιχνοστοιχείων μέχρι το εύρος μερών ανά εκατομμύριο (ppm). Αυτό είναι κρίσιμο για την τρισδιάστατη (3D) στοιχειακή χαρτογράφηση και το προφίλ βάθους υψηλής ευαισθησίας. Και οι δύο βασικές μέθοδοι ανάλυσης υλικών για αναλυτικές και προπαρασκευαστικές εφαρμογές ταυτοποίησης υλικών.

Η φασματομετρία μάζας δευτερογενούς δέσμης ιόντων (FIB-SIMS) είναι από τις πιο ισχυρές τεχνικές αναγνώρισης υλικών στην ανάλυση υλικών υψηλής ευαισθησίας σε νανοκλίμακα. Συνδυάζει την εξαιρετική επιφανειακή ευαισθησία του SIMS με μια εστιασμένη δέσμη πρωτογενών ιόντων, θέτοντας τις βάσεις για ποιοτική ανάλυση σύνθεσης των ανώτερων νανοστρώσεων υλικών που ενδιαφέρουν.

Το FIB-SIMS μπορεί να παρέχει κρίσιμα στοιχειώδη δεδομένα με βάση την ανίχνευση ισοτόπων και ιόντων (ατομική και μοριακή), με ένα ευρύ φάσμα κατάλληλων περιοχών εφαρμογής.

🛑 Χαρακτηριστικά

☑️ Νανο-κλίμακα στοιχειακή χαρτογράφηση επιφανειών

☑️ Τρισδιάστατο προφίλ βάθους

☑️ Ανάλυση Υλικών

☑️ Εξαιρετική ευαισθησία και δυναμικό εύρος

☑️ Προσαρμοσμένη διεπαφή λογισμικού

☑️ Η λειτουργία «Feature MS» επιτρέπει τη λήψη φασματικών δεδομένων μάζας από μια συγκεκριμένη περιοχή ενδιαφέροντος, όπως ένας ρύπος, το όριο κόκκων κ.λπ.

☑️ Προσαρμοσμένες λύσεις τοποθέτησης διαθέσιμες για οποιοδήποτε σύστημα FIB

☑️ Τα ανασυρόμενα οπτικά εξαγωγής επιτρέπουν τη λειτουργία χωρίς παρεμβολές με άλλο εξοπλισμό ανάλυσης

Το λογισμικό Hiden SIMS Mapper ελέγχει τη δέσμη FIB, αποκτώντας στοιχειώδεις εικόνες και τρισδιάστατα προφίλ βάθους πάνω από το οπτικό πεδίο του SEM για συσχετιστική μικροσκοπία νανοκλίμακας.

🛑 Προδιαγραφές

☑️ <50 nm πλευρική ανάλυση για χαρτογράφηση επιφανειών

☑️ Ανάλυση βάθους <20 nm

☑️ Ανάλυση ιχνοστοιχείων μέχρι τα επίπεδα ppm (λεπτές μεμβράνες, ημιαγωγοί, ηλιακά κύτταρα)

☑️ Ανίχνευση ισοτόπων (π.χ. 69Ga, 71Ga)

☑️ Στοιχειακή χαρτογράφηση και προφίλ βάθους