XBS

XBS

Ένα σύστημα παρακολούθησης πολλαπλών πηγών σε εφαρμογές εναπόθεσης MBE

Οι πηγές μοριακής δέσμης απαιτούν ακριβή έλεγχο για αναπαραγώγιμη ανάπτυξη λεπτής μεμβράνης ποιότητας. Το σύστημα XBS (cross beam source) της Hiden παρέχει επί τόπου παρακολούθηση πολλαπλών πηγών με έξοδο σήματος σε πραγματικό χρόνο για ακριβή έλεγχο της εναπόθεσης. Το XBS του Hiden είναι ένα εξαιρετικό εργαλείο που χρησιμοποιείται στη φασματομετρία μάζας μοριακής δέσμης.

🛑 Επισκόπηση

Το σύστημα Hiden XBS RC είναι ένα τετραπολικό φασματόμετρο μάζας σχεδιασμένο για την ταυτόχρονη παρακολούθηση πολλαπλών πηγών δέσμης και προσφέρει μοναδικά αποδοχή δέσμης μέσω ενός κώνου 70°, εγκάρσια στον τετραπολικό άξονα.

 Τα ανοίγματα αποδοχής δέσμης διαμορφώνονται ξεχωριστά για κάθε συγκεκριμένη θέση πηγής θαλάμου διεργασίας και κατασκευάζονται ως αντικαταστάσιμα στοιχεία βύσματος για να επιτρέπουν την αναδρομική τροποποίηση σε περίπτωση αλλαγής του θαλάμου.

Η υψηλή ευαισθησία και η γρήγορη απόκτηση δεδομένων του συστήματος XBS παρέχουν σήματα για έλεγχο των ρυθμών ανάπτυξης από 0,01 Angstrom ανά δευτερόλεπτο.

🛑 Χαρακτηριστικά

☑️ Υψηλή ευαισθησία, βελτιωμένη ανίχνευση από 100% έως 5ppb, εύρος μάζας έως 510 amu

☑️ Βελτιωμένη μακροπρόθεσμη σταθερότητα (λιγότερο από ±0,5% διακύμανση ύψους για 24 ώρες)

☑️ Πηγή ιόντων εγκάρσιας δοκού, αποδοχή δέσμης κατά +/- 35° έως τον εγκάρσιο άξονα

☑️ Έλεγχος πηγής ιόντων για μαλακό ιονισμό και φασματομετρία μάζας δυναμικού εμφάνισης

☑️ Βελτιωμένη ευαισθησία για μετάδοση υψηλής μάζας, Αυτόματη ευθυγράμμιση κλίμακας μάζας

☑️ Διάφραγμα αποδοχής δέσμης 2 mm – διαμορφωμένο για συγκεκριμένη εφαρμογή χρήστη

☑️ Βελτιωμένη αντοχή στη μόλυνση μέσω της βαθμίδας προφίλτρου μόνο RF

☑️ Ενσωματωμένο υδρόψυκτο κάλυμμα συμβατό με UHV

☑️ Τα όρια ανίχνευσης έως 30 ιόντα/δευτερόλεπτο σε μελέτες μοριακής δέσμης

☑️ Παρακολούθηση ρυθμών ανάπτυξης 1Å/λεπτό και χαμηλότεροι

☑️ Έλεγχος MASsoft που βασίζεται στα Windows™ μέσω RS232, USB ή Ethernet LAN

🛑 Εφαρμογές

☑️ Παρακολούθηση και έλεγχος MBE

☑️ Μελέτες μοριακής δέσμης

☑️ Ανάλυση πολλαπλών πηγών δέσμης

☑️ RGA υψηλής απόδοσης

☑️ Εκρόφηση

☑️ Μελέτες απαερίων

☑️ Κύκλοι ψησίματος