EPIC / EPIC 1000 Series

EPIC / EPIC 1000 Series

Ένα σύστημα ανάλυσης UHV ουδέτερων, ριζών και ιόντων

Το Hiden EPIC και το IDP έχουν όλα τα χαρακτηριστικά των RGA υψηλής απόδοσης – αλλά με την προσθήκη δυναμικού μεσαίου άξονα πόλωσης πόλων και ικανότητας αρνητικών ιόντων που τα καθιστούν εξαιρετικά φασματόμετρα μάζας ερευνητικού βαθμού.

🛑 Επισκόπηση

Το σύστημα EPIC μπορεί να αναβαθμιστεί από το εργοστάσιο για τη συμπερίληψη ενεργειακού φίλτρου, είτε τύπου Bessel box είτε τύπου πεδίου 45 μοιρών, διασφαλίζοντας συμβατότητα με τη σειρά Hiden plasma/SIMS, συμπεριλαμβανομένων των ανιχνευτών EQP, EQS, PSM και SIM.

🛑 Χαρακτηριστικά

☑️ Επιλογές εύρους μάζας έως επιλογές διαμέτρου πόλων 5000 amu, 6 ή 9 mm

☑️ Βελτιωμένη μακροπρόθεσμη σταθερότητα (λιγότερο από ±0,5% διακύμανση ύψους για 24 ώρες)

☑️ Κατανομή ενέργειας ιόντων με σάρωση δυναμικού μεσαίου άξονα ±100V, επιλογή 1000eV

☑️ Έλεγχος πηγής ιόντων για μαλακό ιονισμό και φασματομετρία μάζας δυναμικού εμφάνισης

☑️ Βελτιωμένη ευαισθησία για μετάδοση υψηλής μάζας, αυτόματη ευθυγράμμιση κλίμακας μάζας

☑️ Μετρητής ιόντων παλμών για συνεχές δυναμικό εύρος δεκαετίας 1: 107 c/s

☑️ Εκτεταμένο δυναμικό εύρος σε 5×1010 c/s με επιλογή Faraday

☑️ Βελτιωμένη αντοχή στη μόλυνση μέσω της βαθμίδας προφίλτρου μόνο RF

☑️ Πύλη σήματος ανάλυσης 100 νανο δευτερολέπτων για κατανομές ενέργειας και μάζας έναντι χρόνου ή μελέτες TOF

☑️ Ένδειξη θερμοκρασίας ενσωματωμένη σε οθόνες δεδομένων για εφαρμογές θερμικής εκρόφησης

☑️ Ενσωματωμένο κάλυμμα συμβατό με UHV, επιλογή κάλυμμα με ψύξη υγρού αζώτου

☑️ Έλεγχος MASsoft μέσω RS232, USB ή Ethernet LAN

☑️ Δυνατότητα αναβάθμισης σε προδιαγραφές Plasma / SIMS

🛑 Εφαρμογές

☑️ Επιφανειακή επιστήμη

☑️ Μηχανική λεπτών φιλμ & επιφανειών

☑️ Κατάλυση

☑️ Μελέτες μοριακής δέσμης