HALO 201 MBE

HALO 201 MBE

Ένα σύστημα ανάλυσης αερίων για εφαρμογές μοριακής επιταξίας δέσμης

Τα συστήματα Hiden HALO είναι σχεδιασμένα για εφαρμογές RGA, ανάλυση αερίων και παρακολούθηση διεργασιών, συμπεριλαμβανομένων ανίχνευσης διαρροών, ανάλυσης τάσεων και έρευνας κενού.

🛑 Επισκόπηση

Ο ειδικός αναλυτής MBE είναι κατασκευασμένος από συμβατά υλικά και έχει σχεδιαστεί για παρατεταμένη χρήση σε περιβάλλοντα MBE και περιλαμβάνει, ως στάνταρ, καλωδίωση από μολυβδαίνιο στη θέση του χαλκού και ανθεκτικό στη μόλυνση κάλυμμα πηγής ιόντων.

🛑 Xαρακτηριστικά

• Καλωδίωση από μολυβδαίνιο στη θέση της καλωδίωσης χαλκού για τη βελτίωση της διάρκειας ζωής του συστήματος RGA σε περιβάλλοντα MBE

• Ανθεκτικό στη μόλυνση κάλυμμα πηγής ιόντων

• Διπλός πολλαπλασιαστής ηλεκτρονίων Faraday/πλάκας καναλιού

• Ελάχιστη ανιχνεύσιμη μερική πίεση σε 2 x 10-13 mbar

• Επιλογή θερμικής επέκτασης για λειτουργία RGA κατά τη διάρκεια του ψησίματος

🛑 Εφαρμογές

• Παραγωγή ημιαγωγών