HMT

HMT

Σύστημα RGA διπλής λειτουργίας για διάγνωση κενού και παρακολούθηση διεργασιών

Το τετραπολικό φασματόμετρο μάζας Hiden HMT είναι ένα μοναδικό σύστημα RGA διπλής λειτουργίας, ικανό να λειτουργεί σε πιέσεις έως 5×10-3 mbar χωρίς την ανάγκη διαφορικής άντλησης. Η λειτουργία σε αυτή την πίεση επιτυγχάνεται χρησιμοποιώντας έναν ειδικά σχεδιασμένο συνδυασμό πηγής ιόντων/τετραπολικού φίλτρου και λογισμικού που διορθώνει τη μη γραμμικότητα της αφθονίας. Η μοναδική προδιαγραφή υψηλής πίεσης καθιστά το HMT ιδανικό για εφαρμογές παρακολούθησης διεργασιών.

🛑 Επισκόπηση

Το HMT προορίζεται για ανάλυση διεργασίας υπό κενό και ανάλυση υπολειμματικών αερίων και είναι ζωτικής σημασίας για ελέγχους συνθηκών λειτουργίας διεργασίας και για ανάλυση διεργασίας για την ανίχνευση απροσδόκητων ρύπων. Το σύστημα HMT μπορεί επίσης να λειτουργήσει σε λειτουργία RGA με τον ίδιο τρόπο όπως ένα παραδοσιακό τετραπολικό RGA. Οι διπλοί ανιχνευτές Faraday / πολλαπλασιαστή ηλεκτρονίων παρέχουν ευαισθησίες μερικής πίεσης στην περιοχή 10-13 mbar. Τυπικές διεργασίες που μπορούν να παρακολουθηθούν περιλαμβάνουν CVD, χάραξη, PECVD και PVD. Ένα εργαλείο RGA διαδικασίας για την αντιμετώπιση προβλημάτων και την παρακολούθηση.

🛑 Χαρακτηριστικά

☑️ Λειτουργία HMT για λειτουργία υψηλής πίεσης σε 5×10-3 mbar (ελάχιστη ανιχνεύσιμη μερική πίεση 5×10-8 mbar)

☑️ Λειτουργία RGA για λειτουργία υψηλής ευαισθησίας σε P < 10-4 mbar (ελάχιστη ανιχνεύσιμη μερική πίεση 2 x 10-11 mbar)

☑️ Εύρος μάζας 100 amu, Διασύνδεση απομακρυσμένου ελέγχου (PC) μέσω λογισμικού MASsoft Professional PC

☑️ Εύρος μάζας 100 amu, Διασύνδεση απομακρυσμένου ελέγχου (PC) μέσω λογισμικού MASsoft Professional PC

☑️ Σταθερότητα (λιγότερο από ±1% διακύμανση ύψους για 24 ώρες)

☑️ Έλεγχος λογισμικού MASsoft μέσω RS232, USB ή πολλαπλών συστημάτων μέσω Ethernet LAN

☑️ Γρήγορη πρόσβαση, σάρωση μικτής λειτουργίας Trend και Analog σε πολλά παράθυρα για παράδειγμα

☑️ Ταυτόχρονη εμφάνιση σε πραγματικό χρόνο γραφικών και πινακικών δεδομένων ανάλυσης τάσεων

☑️ Δρομέας για αναγνώριση ύψους κορυφής υπό τον έλεγχο του ποντικιού

☑️ Αφαίρεση φόντου σε πραγματικό χρόνο, Αυτόματη στοίχιση κλίμακας μάζας

☑️ Δυνατότητα εξαγωγής δεδομένων σε μορφή ASCII και σε όλες τις συσκευές Windows

☑️ Δυνατότητα δυναμικής ανταλλαγής δεδομένων για μεταφορά δεδομένων σε πραγματικό χρόνο σε άλλες εφαρμογές Windows™ συμβατές με πρόγραμμα-πελάτη DDE, π.χ. Excel, λογισμικό στατιστικού ελέγχου διεργασιών SPC-IV

🛑 Εφαρμογές

☑️ Ανάλυση υπολειμματικών αερίων

☑️ Επεξεργασία υπό κενό

☑️ Κοντά σε ατμοσφαιρικά XPS, APXPS

☑️ Οπτική επίστρωση λεπτής μεμβράνης